林文魁

个人简历/Personal resume

  分别于2007年、2010年与2022年在华东理工大学、中国科学院研究生院和中国科学技术大学获得学士、硕士与博士学位。于2010年加入中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，现任纳米加工平台高级工程师、工艺部长，负责6英寸研发线技术开发与开放管理。主要从事压电换能器、压电谐振器和磁电耦合器件等压电MEMS器件制备技术与性能研究，相关技术获评江苏省和苏州市“年度绝技绝活”称号。曾获评“江苏工匠”、“苏州技能大奖”和苏州工业园区“劳动模范”等荣誉称号，苏州工业园区高技能人才专家库成员。截至2023年12月，主持/参与课题10余项，合同金额1000余万，在Applied Physics Letters、Journal of Physics D: Applied Physics和Semicond. Sci. Tech.等期刊上发表论文30余篇，申请发明专利十余项。其中，授权发明专利6项，技术转移2项。

研究方向/Research direction

  1. 压电材料与压电MEMS器件；

  2. 磁电材料与磁电耦合器件。

招生信息/Enrollment information

  微电子学与固体电子学、应用物理学、材料物理学

论文专著/The monograph

  1. YUN X, LIN W*, HU R, et al. Bandwidth-enhanced magnetoelectric antenna based on composite bulk acoustic resonators [J]. Appl Phys Lett, 2022, 121: 033501.

  2. YUN X, LIN W*, HU R, et al. Radiation-enhanced acoustically driven magnetoelectric antenna with floating potential architecture [J]. Appl Phys Lett, 2022, 121: 203504.

  3. LIN W, YUN X, WANG X, et al. Super-high sensitivity FBAR temperature sensor based on size effect of Ti insertion layer [J]. Mater Res Express, 2021, 8(9): 095701.

  4. ZHAO J, XING Y, HAN J*, LIN W*, et al. The research of dual-mode film bulk acoustic resonator for enhancing temperature sensitivity [J]. Semicond Sci Tech, 2020, 36: 025018.

  5. YUN X, LIN W, HU R, et al. Biaxial film bulk acoustic resonator magnetic sensor based on the Fe80Ga20 anisotropic ΔE effect [J]. Journal of Physics D: Applied Physics, 2022, 55(13): 135002.